本发明公开了属于能源新材料技术领域的一种用于太阳能光伏玻璃的SiO₂增透薄膜及其制备方法。本发明采用溶胶凝胶法，以正硅酸乙酯为前驱体，采用盐酸为催化剂，加入不同含量的成孔剂，制备出SiO₂镀膜液。采用旋转涂覆法在玻璃表面涂覆上两层到三层薄膜，紧贴玻璃的一层为采用成孔剂含量较低的SiO₂镀膜液制备而成，制备后续的SiO₂薄膜依次采用更高成孔剂含量的SiO₂镀膜液制备而成。通过调整每一层镀膜液中成孔剂的含量从而制备出气孔率从内到外依次增加的SiO₂增透薄膜。本发明制备的用于太阳能光伏玻璃的增透膜与玻璃基底的结合性和牢固度好，有宽广的透过率，稳定透光率高，增透效果优良。