本发明涉CIGS太阳能电池，具体说是溅射法制备柔性太阳能电池CIGS吸收层和缓冲层的方法,其包括制备吸收层靶材和缓冲层靶材、将上述两靶材和对应的溅射源置于加热的真空室内、在两靶材下侧设置工作台，含有钼电极层的基板可沿工作台移动、基板沿工作台正向移动时，溅射源由上向下轰击吸收层靶材，使钼电极层上沉积吸收层、吸收层沉积完成后，基板沿工作台反向移动，溅射源由上向下轰击缓冲层靶材，使吸收层上沉积缓冲层。本发明采用靶源沉积吸收层，不仅可进行大面积的生产，而且成膜质量高；并采用向由上向下的溅射法沉积吸收层与缓冲层，避免了因重力的影响使得沉积不够均匀的现象。