本发明涉及一种廉价透明染料敏化太阳能电池对电极及其制备方法。采用反应磁控溅射法，以氩离子轰击靶材，氮气为反应气体，金属或合金为溅射靶材。反应条件为：氩气流速5～50立方厘米/分钟，功率10～300W，预溅射5～30分钟；通入的氮气流速5～50立方厘米/分钟，溅射时间5～120分钟，转速10～50转/分。制备的电极直接或经过高温(300～500℃)处理用作染料敏化太阳能电池对电极。所制电极具有与铂电极相近或更优的电化学性能和透光性。本发明具有制备简便、成本低廉、稳定性好等优点，实用价值明显。