本发明公开了一种大型太阳能薄膜电池片组件的生产工艺及设备，其工艺包括：薄膜层的制备；划线；汇流；合片；高压釜加固等步骤。本发明在高真空或者超高真空环境下，用电子束蒸发辅以离子源和修正板装置制备铜铟镓硒（CIGS）制备薄膜太阳能电池片组件，该方法使用非反应性离子源并在真空环境中加入惰性气体作为工作气体、另使用真空沉积的电子束蒸发方式来制备大面积电池片；本工艺使用多位坩埚将缓冲层硫化镉(CdS)或硫化锌（ZnS）、窗口层本征氧化锌（i-ZnO）及铝掺杂氧化锌（AZO）分时一次性地蒸镀至电池基片上来制备铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳能电池。