本发明公开了一种制备锡硫化合物叠层太阳能电池的方法，其通过在薄膜制备过程中通入氢气的方法进行p型或n型锡硫薄膜的沉积，通过薄膜的叠加，从而制备出锡硫叠层薄膜太阳电池。利用等离子体化学气相沉积的方法，通过控制通入氢气的流量、时间以及加入的原料的量或配比等各工艺参数，调节沉积过程中腔体中硫和锡元素的配比，进而调节制备出的薄膜中两种元素的配比，可以对沉积的各层薄膜的厚度和禁带宽度进行控制，得到较为理想的锡硫叠层薄膜太阳电池。本发明制备工艺简单，在同一设备中即可完成，避免了掺杂较为复杂的工艺，降低了生产成本，缩短了生产周期，为叠层薄膜太阳电池的制备提供了一种更为简单、高效的方法。