本发明涉及太阳能电池的生产领域，其公开了一种应用于太阳能电池片的离子束注入掺杂的设备和方法，包括靶室单元、靶台扫描运动单元离子束测量控制单元；所述靶室单元内设靶台单元，所述靶台单元包括目标工件、注入隙缝图形掩模和目标工件夹具；所述靶台扫描运动单元携带所述靶台单元运动；所述离子束测量控制单元测量离子束的离子束电流、离子束电流密度分布和离子束的角度；所述目标工件夹具固定所述目标工件和注入隙缝图形掩模。本发明的有益效果是：在太阳能电池片的制作上具有低成本高产能的优点。