一种太阳能电池用光致化学沉积装置，包括补液系统、沉积系统，所述补液系统包括放置反应溶液的补液腔体，所述补液腔体内的底部安装有第一加热装置，其上部安装有第一在线温度监测装置，所述补液腔体上设有将液体输送至沉积系统的液体输出管道，其内在液体输出管道的上方设有过滤装置，所述液体输出管道上安装有液体流量计；所述沉积系统包括沉积反应腔体，所述沉积反应腔体的底部安装有第二加热装置、鼓泡装置、时间控制器以及循环装置，所述沉积反应腔体内安装有将硅片固定在沉积反应腔体内的真空吸附装置，其上方安装有第二在线温度监测装置及光照系统。本发明的有益效果：可用于低成本，无损伤二氧化硅薄膜的沉积。