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薄膜太阳能电池的制造方法及其制造设备
编号:S000030920 刷新日期: 有效日期至:2020-12-19 浏览:2246 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提出一种CIGS薄膜太阳能电池的制造方法及其制造设备,该制造方法包括以下步骤。首先,提供一基板,将基板置入一扩散炉内,于扩散炉内通入第一硒化气体。进行多阶段式加热升温,升温至第一预定温度之后持温第一预定时间,之后抽出第一硒化气体。进行升温以后并且通入第二硒化气体于扩散炉内,在第二预定温度持温第二预定时间,最后在降温过程中抽出第二硒化气体。本发明的CIGS薄膜太阳能电池的制造设备,其包括一扩散炉、一冷却单元、一气体控制单元及一控制接口单元。本发明可减少吸收层膜剥落及解决MoSe2层过厚的问题。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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