一种利用微波在线检测太阳能板结构损伤的装置及方法，该装置的有源微波谐振腔包括依次连接的矢量网络分析仪、频率扫描源、第一隔离器、第一调配器和谐振腔体；微波信号处理系统包括置于谐振腔体内的耦合探针，和耦合探针依次连接的衰减器、第二调配器、第二隔离器及信号微处理器电路；其方法为：通过谐振腔体发射微波信号进入被测太阳能电池板的表面,一部分被吸收反射，一部分穿透电池板到金属背景并产生全发射，通过耦合探针拾取回波信号，该回波信号经信号微处理器电路得到即时谐振腔频率偏移量Δf，能够得知被测太阳能电池板的结构损伤程度；本发明能够实现对太阳能电池板损伤情况的实时在线的监测，满足对生产线上的电池板无损检测的要求。