本发明公开了一种太阳能电池及其扩散方法，该方法包括：将硅片放入扩散炉中，将扩散炉内温度升温至750℃~800℃，包括端点值，向扩散炉内通源进行磷扩散，向硅片中扩散磷的量基本为，在当前扩散炉内温度下的磷在硅片中的最大固溶度；将扩散炉内温度升温至810℃~820℃，包括端点值，使磷向硅片内部扩散；将扩散炉内温度升温至840℃~850℃，包括端点值，升温过程中通源，以进行变温扩散；保持升温后的温度，通入氧气以进行高温推进，直至磷在硅片中的扩散量达到目标值，对扩散炉内进行降温后，打开扩散炉取出硅片。采用本方法生产的电池片，表面磷杂质浓度低，“死层”厚度小，磷浓度分布梯度大，转换效率提高。