本发明涉及一种太阳能电池制备方法。它具体有如下步骤：1）将制绒后的硅片表面制作发射极；2）将步骤1所得硅片采用HF酸溶液进行磷硅玻璃去除；3）将步骤2所得硅片表面制作二氧化硅层；4）将步骤3所得硅片再依次采用周边刻蚀、沉积氮化硅膜、丝印正反面电极和背铝、烧结。可以有效的提高扩散方阻的均匀性，提高少数载流子寿命；另外，氧化硅的钝化作用减少了硅悬空键，减少表面态，可使短路电流密度提高0.1-1mA/cm²，开路电压提高3-10mV，转化效率提高0.1-0.5%；制作氧化硅后再进行边缘刻蚀可以有效的减少边缘漏电，提高电池的并联电阻。