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一种太阳能电池片镀膜的方法
编号:S000030820 刷新日期: 有效日期至:2020-12-05 浏览:2490 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种太阳能电池片镀膜的方法。其特点是,包括如下步骤:(1)将插好硅片的21片石墨舟送进炉管;(2)抽真空,至炉管内压力达到35毫托;(3)通入氨气,使炉管内压力达到1600毫托,温度控制在425℃,放电200秒;(4)抽真空,至压力达到35毫托时,通入氮气,再抽真空,重复两次后恢复常压;(5)抽真空,至压力达到35毫托时,通入氨气,预沉积150秒,再通入硅烷,持续放电700秒;(6)停止通气,抽真空,通入氮气,再抽真空;(7)卸料即可。采用本发明的方法后,可以很好的解决PECVD工序中产生的红片,色差片问题,使得膜色符合工艺要求。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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