本发明属于晶体硅太阳能电池的技术领域，具体地说是一种双面钝化晶硅太阳能电池及其制备方法。所述结构包括基区、PN结、发射区、第一介质层、第二介质层、第三介质层、铝薄层、第一本征氢化非晶硅层、第二本征氢化非晶硅层、正面电极及背面电极，其中PN结位于基区和发射区之间，第一介质层作为正面减反射层和钝化层，第二介质层作为背面钝化层，所述第三介质层作为背面介质层的盖层，第一本征氢化非晶硅层位于第一介质层和发射区之间，第二本征氢化非晶硅层位于基区和第二介质层之间，铝薄层位于第三介质层的外侧，正面电极和背面电极分别置于晶硅太阳能电池正面和背面。本发明利用微波PECVD方法实现高质量的背表面钝化，可以提高转化效率1％。