本发明涉及一种硅基薄膜太阳能电池背电极或前电极在线连续磁控溅射镀膜，属于太阳能技术领域。本发明目的是用阴极靶的电磁体调整磁场极性，使其磁体极性相同或相反。技术特征是在线连续磁控溅射镀膜，在真空腔室内，安装多种靶材的阴极靶装置是平板靶或旋转靶。阴极靶相邻靶位的磁体极性可调。连续磁控溅射镀膜在基板（电池板）表面形成复合膜和金属膜，或金属氧化膜。可获得清晰界定AZO，金属膜，提高了膜层的光学性和电学性，提高了产能，降低了生产成本。