本发明提供了一种一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其包括依次设置并一体连接形成整体生产设备的一次清洗装置、第一组镀膜室、一次刻线装置、二次清洗装置、第二组镀膜室、硒化装置、二次刻线装置、三次清洗装置、第三组镀膜室。另外，还提供一种一体化CIGS薄膜太阳能电池生产方法。采用本发明的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备及生产方法，提高生产CIGS薄膜太阳能电池的性能的同时提高生产效率，降低生产成本。