本发明属于新型透明导电材料领域，具体涉及一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ZnO/Al薄膜的方法。本发明的方法是以未引入电极的太阳能电池片为基片，清洗后送入磁控溅射反应室，以纯Al为靶材进行磁控溅射得到20-300nm厚的Al薄膜，然后将基片置于气相沉积室内同时通入氧气和携带有Zn(CH₂CH₃)₂的氩气，沉积得到50～600nm厚的ZnO薄膜，最后在氧气气氛下，于400-600℃对载有ZnO和Al薄膜的基片退火处理，得到ZnO/Al薄膜。本发明的制备工艺简单，沉积过程易于控制，透明导电薄膜的均匀性好，光电性能优异，以此作为太阳能电池的背电极，替代传统的铝金属电极，进一步提高了太阳能电池的转化效率。