本发明涉及一种硅基薄膜太阳能电池激光刻划设备，属于太阳能电池设备技术领域。为解决现有激光刻划设备不能同时兼顾成本和刻划复杂图形的技术问题，设计一种硅基薄膜太阳能电池激光刻划设备，包括安装在支架上的光学系统、基片工作台，光学系统主要由激光器、扩束镜、聚焦镜构成，激光器的输出端装有扩束镜，光学系统还包括顺序安装在扩束镜和聚焦镜之间的分光镜和振镜，激光器发射出的激光经扩束镜进入分光镜分成反射光和折射光，该反射光与折射光分别进入相应的振镜和聚光镜形成平行的激光束，刻划膜层。本发明不仅可以刻划大尺寸具有复杂图形的电池，还能减少激光器使用数量，有效降低设备成本，提高生产效率。