本发明的系统和方法根据需要可用于给太阳能电池的电荷保持层（诸如钝化层和/或抗反射层）充以正电荷或负电荷。这种电池的电荷保持层可包括能够保持负电荷或正电荷的任何合适的介电材料，并且可在电池的制造过程中（包括钝化层沉积的过程中或之后）的任何合适点充电。根据本发明一方面的方法包括将太阳能电池设置成在腔室内部与电极处于电连通。太阳能电池包括发射极、基极、与发射极相邻的第一钝化层、以及与基极相邻的第二钝化层。气体被注入到腔室内且利用该气体来产生等离子体（其具有带有至少约3.1电子伏特的能量水平的光子）。第一钝化层和第二钝化层中的一个或多个被充电到预定极性，其中所述充电包括以预定的时间段将直流电压脉冲施加到电极。