本发明涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体是一种晶体硅太阳能电池激光扩散方法。把干燥的硅片放入扩散炉，激光光源为矩形300 μm × 600 μm，激光扩散包括横向扫描和竖向扫描两种扩散方式，对在炉中的硅片在不同温度和不同浓度的三氯氧磷流量、氧气、氮气的条件下份三次对晶体硅片进行激光扩散扫描，从而提高了电池片光电转换效率的同时，减少了激光扩散的时间，从而大幅度减少了生产成本。