本发明公开了一种高效率太阳能电池的制备方法，该高效率太阳能电池的制备方法包括以下步骤：清洗制绒；三氯氧磷液态源扩散；干法刻蚀；去除PSG，清洗液配制；减反射膜制备-PECVD；丝网印刷，背电极印刷，1号烘箱，背电场印刷，2号烘箱，正电极印刷，烧结，测试分选；组件，电池片分选、单片焊接、串联焊接、叠层、层压、装框、清洗、电性能测试、包装入库。本发明通过POCl₃液态源扩散方法具有生产效率较高，得到PN结均匀、平整和扩散层表面良好。本发明的工艺成品率较高，产生的缺陷和位错较少，形成的欧姆接触，接触电阻小，具有优良的导电性，纯度适当，化学稳定性好。