本发明涉及一种低氟太阳能电池保护膜及其制备方法。该低氟太阳能电池保护膜原料质量份组成如下：氟树脂40-55份，以氟树脂质量计，添加有硅烷偶联剂0.5-4.5wt%、有机过氧化物0.01-0.6wt%、交联催化剂0.01-0.8wt%；无机填料10-45份，改性树脂10-40份，润滑剂0.01-1.0份，功能助剂0-2份；采用挤出流延或吹膜的方式制成含氟薄膜。本发明还提供低氟太阳能电池保护膜的制备方法，该方法制备的太阳能电池保护膜含氟量低，具有优异的抗紫外老化特性、耐湿和耐候性，同时提高了膜的力学性能，且节约成本。