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晶体硅太阳能电池镀膜方法
编号:S000029920 刷新日期: 有效日期至:2020-11-08 浏览:3255 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种晶体硅太阳能电池镀膜方法,其包括以下步骤:首先,将硅片放入石英舟内,进行进舟。之后,通入氮气升温至380-450℃,维持5-15分钟。然后,通入氨气并开启射频进行预清洗,维持5-8分钟。接着,通入氨气与硅烷,开启射频进行等离子溅射沉积12-14分钟。最后,出舟冷却。有此,能够提升太阳能电池的光电转换效率。同时,去掉预清洗步骤后,能够针对现有的加工步骤缩短生产时间,提升生产产能。由于缩短了不必要的步骤,节省氨气使用量,降低生产成本。再者,本发明所采用的方法,整体步骤简便,且无需增加额外工序步骤和物料,节省了生产成本且有利于推广。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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