本发明涉及一种控制太阳能电池组件电学性能低下及外观缺陷的方法，属于太阳能电池生产技术领域。技术方案是：根据镀膜衬底在LPCVD设备腔室等待的位置及时间不同对TCO膜层的影响不同，分别进行控制；根据镀膜衬底在预加热腔室中等待时，镀膜衬底的温度变化进行不同处理；当镀膜衬底在工艺反应腔室发生等待时，根据镀膜衬底所处的腔室的不同，进行不同的处理。本发明可有效控制彩虹缺陷组件的产生，避免透明导电电极后续原材料的浪费及二级品、报废品的产生，满足人们对太阳能组件电学性能及外观的严格要求。本发明可以降低薄膜太阳能电池组件电学性能低下及外观彩虹缺陷出现的几率，减少后续原材料的浪费，降低太阳能电池组件不良及报废率。