本发明属于晶体硅太阳能电池制绒设备技术领域，具体涉及一种晶体硅太阳能电池RIE制绒装置。该装置包括反应室、气体管道、喷淋装置和反应离子挡板，其中，喷淋装置位于反应室的顶部，气体管道上设置有流量控制器；硅片正面上方添加反应离子挡板。本发明可以改善电池片在后续组件的焊接性能，有利于提高组件的稳定性和转化效率；另外，本发明可控性好，灵活性高，适用于晶体硅太阳能电池的工业化生产。