本发明提供了一种异质结太阳能电池及其制备方法。其中异质结太阳能电池包括衬底，形成在衬底上表面的TCO，以及形成在TCO上的栅极，TCO包括：第一TCO，依据栅线排布结构设置在衬底的上表面；第二TCO，围绕第一TCO覆盖在衬底的上表面，栅极排布在支撑栅极TCO上。本发明所提供的异质结太阳能电池，通过将位于衬底正面的TCO采用具有不同透光率和电导率的两部分组合形成，进而改善n型异质结太阳能电池的FF和jsc，从而降低材料方阻，提高光电转换效率。