一种太阳能电池硅片的跟踪方法，包括如下步骤：采用激光刻划方式在所述晶体硅工件的所述选定切割面上进行开槽，形成一系列不同宽度及间距的多个刻划线，并对所述多个刻划线进行编码，以形成用于标记跟踪信息的编码图案，其中以所述刻划线的线宽、深度及间距中的至少一个为编码对象。上述太阳能电池硅片的跟踪方法能够跟踪晶体硅太阳能电池硅片，并且工艺简单、成本较低。