本发明公开了一种薄膜太阳能电池，其包括基底、金属薄膜层或布拉格反射层、硅薄片、微纳米结构或多层膜抗反射层以及薄膜微透镜阵列层，所述基底表面带有微纳米结构，所述微纳米结构的底部或脊区设有所述金属薄膜层或者布拉格反射层，所述硅薄片的表面设有微纳米结构层和/或多层膜抗反射层。本发明实施例的薄膜太阳能电池通过结合薄膜微透镜阵列层、硅薄片、微纳米结构或者多层膜抗反射层，在较大的入射角范围内使得薄膜太阳能电池具有更低的表面反射率，增加其对入射光的吸收，减少了光能的损耗。