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一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺
编号:S000028648 刷新日期: 有效日期至:2020-12-19 浏览:3258 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 河南 技术领域:能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺,包括如下步骤:1)备料:所用粉末为钼粉、钼酸钠粉末;粉末的物理性质为:钼粉的Mo含量≥99.95%,粒度3~5μm;钼酸钠粉,钼酸钠含量≥99.0%,粒度20~40μmμm;2)配粉:将钼粉、钼酸钠粉按照比例称取,钼粉质量百分含量为90~99%,钼酸钠粉为:1~10%;3)机械合金化:合成纳米钼钠合金粉末;4)装模;5)冷等静压压制;6)烧结;7)锻造;8)真空退火;9)机械加工,得到钼钠合金旋转溅射管形靶材。本发明生产的钼铌合金管形靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小、纯度高,完全满足CIGS光伏电池的要求,提高电池使用效率。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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