本发明公开了一种三结叠层薄膜太阳能电池，属于太阳能光伏技术领域。发明目的在于提高薄膜电池光电转换效率，使其接近晶体电池。技术其特征：顶电池为非晶硅太阳能电池的本征层禁带宽度在1.7-1.8eV之间，吸收太阳光蓝光；中间电池层碲化镉电池禁带宽度在1.45eV左右，吸收绿光；底电池铜铟镓硒的吸收层禁带宽度在1.05eV左右，吸收红光。引入中间层增加光程和光陷阱结构。提高光吸收效率。分步刻划法可提高刻划精度，减少电池组件内部串联短接，降低产品成本和不良率。