本发明涉及一种二元和三元金属硫属化物材料及其制备和使用方法。本发明公开了使用化学气相沉积(CVD)法、原子层沉积(CVD)法或湿溶液法合成金属硫属化物。有机甲硅烷基碲或有机甲硅烷基硒与一系列具有亲核取代基的金属化合物的配体交换反应生成金属硫属化物。该化学方法被用来沉积用于相变存储器和光伏设备的锗-锑-碲(GeSbTe)和锗-锑-硒(GeSbSe)膜或其它碲和硒基金属化合物。