本发明涉及一种硫掺杂的MoO₃薄膜作为阳极界面层的有机光伏电池及其制备方法，包括有氧化物透明导电衬底、阳极界面层、有机光敏活性层和金属电极，所述的阳极界面层是利用磁控溅射系统，通过改变沉积薄膜时的氩氧气氛比，将MoS₂靶在氧化物透明导电衬底上沉积出含硫掺杂的MoO₃薄膜。本发明的有益效果在于：不存在对ITO的腐蚀性问题，热稳定性好。相对于传统制备MoO₃薄膜，用本发明制备的含硫掺杂的MoO₃薄膜，减小MoO₃薄膜的缺陷，尤其是表面缺陷。有利于改善阳极界面层与光敏活性层之间的界面，让空穴顺利通过阳极界面层及相关界面，达到提高电池的性能的目的。