本发明公开了一种具有减反射膜的四结级联光伏电池的制造方法，包括：在InP衬底（1）上表面依次生长GaInAs子电池（2）、应变补偿GaAsP/GaInAs超晶格子电池（3）以及GaAs子电池（4）、第一减反射层（5）、第二减反射层（6）、GaInP子电池（7）、第三减反射层（8）和第四减反射层（9）和第五减反射层（10）；在第五减反射层（10）的表面上形成顶电极（11），在InP衬底（1）的下表面形成底电极（12）。