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> 技术详情
具有嵌入式光伏电池的阵列基板的制作方法
编号:S000028073
刷新日期:
有效日期至:
2020-11-03
浏览:
2251
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 广东
技术领域:
能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明提供一种具有嵌入式光伏电池的阵列基板的制作方法,包括以下步骤:步骤1、提供基板;步骤2、在基板上形成缓冲层;步骤3、在缓冲层上形成非晶硅层;步骤4、激光退火,将非晶硅层转变为多晶硅层;步骤5、通过掩膜工艺在多晶硅层上形成预定图形;步骤6、在多晶硅层上形成第一光致抗蚀剂图形,并在该第一光致抗蚀剂图形内注入N
+
离子;步骤7、在多晶硅层上形成栅极绝缘层;步骤8、在栅极绝缘层上形成第二光致抗蚀剂图形,并在第二该光致抗蚀剂图形内注入N
-
离子;步骤9、在栅极绝缘层上形成第三光致抗蚀剂图形,并在第三该光致抗蚀剂图形内注入P
+
离子,并活化;步骤10、在栅极绝缘层上形成第一金属层,并通过掩膜工艺形成栅极;步骤11、在第一金属层上形成第一绝缘层,并氢化该第一绝缘层,以形成氢化绝缘层;步骤12、在第一绝缘层上通过掩膜工艺形成第一沟道;步骤13、在第一绝缘层上形成第二金属层,并通过掩膜工艺形成金属电极,进而形成薄膜晶体管与光伏电池。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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