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具有嵌入式光伏电池的阵列基板的制作方法
编号:S000028073 刷新日期: 有效日期至:2020-11-03 浏览:2302 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 广东 技术领域:能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供一种具有嵌入式光伏电池的阵列基板的制作方法,包括以下步骤:步骤1、提供基板;步骤2、在基板上形成缓冲层;步骤3、在缓冲层上形成非晶硅层;步骤4、激光退火,将非晶硅层转变为多晶硅层;步骤5、通过掩膜工艺在多晶硅层上形成预定图形;步骤6、在多晶硅层上形成第一光致抗蚀剂图形,并在该第一光致抗蚀剂图形内注入N+离子;步骤7、在多晶硅层上形成栅极绝缘层;步骤8、在栅极绝缘层上形成第二光致抗蚀剂图形,并在第二该光致抗蚀剂图形内注入N-离子;步骤9、在栅极绝缘层上形成第三光致抗蚀剂图形,并在第三该光致抗蚀剂图形内注入P+离子,并活化;步骤10、在栅极绝缘层上形成第一金属层,并通过掩膜工艺形成栅极;步骤11、在第一金属层上形成第一绝缘层,并氢化该第一绝缘层,以形成氢化绝缘层;步骤12、在第一绝缘层上通过掩膜工艺形成第一沟道;步骤13、在第一绝缘层上形成第二金属层,并通过掩膜工艺形成金属电极,进而形成薄膜晶体管与光伏电池。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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