本发明属于使用光伏处理尾气的技术领域，具体地说是一种光伏尾气处理系统。包括依次连接的吸附燃烧单元和吸附水洗单元，所述吸附燃烧单元和吸附水洗单元均设有吸附层，干泵从真空室抽出的尾气通过吸附燃烧单元和吸附水洗单元后排到大气中，两个吸附层防止水分逆流。本发明通过不同方式进行过滤，有效保证泵内气体清洁，有效防止泵的损坏和真空室被污染。