本发明揭示了一种用于MAQ-ME干燥的尾气处理装置，装设于MAQ-ME干燥的双锥回转干燥器的尾气出口。特别地，该尾气处理装置包括无油真空泵、深度冷凝器、溶剂接受器和尾气排放冷凝器，该无油真空泵一端连接双锥回转干燥器的尾气出口且另一端设有接至溶剂接受器顶部的真空泵导管，该深度冷凝器设于真空泵导管上，该溶剂接受器的顶部另侧设有尾气排放通道，该尾气排放冷凝器装设于尾气排放通道中。应用本发明的尾气处理装置，能够防止空气进入MAQ-ME的干燥器，有效抑制产品被氧化，提高了产品质量，降低了产品消耗，同时将产品蒸发出的水分及甲苯抽离进行处理，一方面提高了产品的纯净程度，另一方面回收了甲苯，降低了含甲苯尾气对大气的污染。