本发明公开了一种去除氟硅酸中残留氟化氢的方法，包括如下步骤：1）将二氧化硅加入到氟硅酸中反应，过滤,得到滤液A；2）将碳酸盐细粉加入到滤液A反应；过滤，得到滤液B；3）将碳酸盐细粉溶于水中，制成悬浊液，往悬浊液通入二氧化碳，得到液体态的碳酸氢盐溶液；将碳酸氢盐溶液加入到滤液B中，反应后，得到氟硅酸溶液。本发明效果如下：1）分三个阶段除杂得到较纯净的氟硅酸溶液；2）加入球磨细化处理的碳酸钙降低了第三阶段液体钙的使用，节省了液体钙的处理量，3）准确地去除溶液中的氟离子，防止引入额外的杂质；4）有好的反应能力和反应速度。5）对氟硅酸中残留氟离子的去除效果达到了95%以上，残留氟离子降低到0.05克/升以内。