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一种单晶硅制备工艺中排放氩气的净化回收方法与装置
编号:S000027038 刷新日期: 有效日期至:2020-12-18 浏览:2437 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 浙江 技术领域:能源与环保 - 水资源开发与保护
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种单晶硅制备工艺中排放氩气的净化回收方法与装置,所述方法含有以下几个步骤:将单晶硅炉排放的粗氩气汇集后进行压缩除油处理,采用催化氧化法除去一氧化碳与烷烃,采用加氢除氧法除去氧,采用吸附法除去二氧化碳及水分,采用高低压双塔低温精馏法除去氮与氢,最终得到纯净压缩氩气可直接送回单晶硅炉重新利用;所述的装置包括:对单晶硅炉排放的粗氩气进行粗油过滤的粗氩气收集预处理系统,进行精密油过滤的压缩除油系统,除去一氧化碳、烷烃与氧组分的催化反应系统,除去二氧化碳和水分的粗氩气纯化系统,除去氮和氢组分的低温精馏系统,为低温精馏系统制取氮气提供原料空气来源的空气处理系统,以及对整套装置进行控制的自动控制系统。该方法和装置能实现单晶硅产业中大量保护氩气的回收和循环使用。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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