本发明涉及一种利用微波热处理制备稀土掺杂Mg₂Si粉体的方法，将镁粉、硅粉、稀土化合物和硼酸按一定摩尔比计量，将硼酸中加入纯净水中得到硼酸水溶液；将稀土化合物加入到硼酸水溶液中，得到混合液；再将硅粉加入到混合液中得到膏状物；将膏状物置于非金属器皿中进行微波热处理制备前驱体；将前驱体冷却后粉碎；将前驱体粉料与镁粉在非氧化氛围下混合均匀，经微波烧结制备出Mg₂Si粉体。本发明以稀土掺杂制备Mg₂Si粉体，能提高载流子的浓度，从而提高材料的热电性能；采用硼酸溶解稀土化合物，原料混合均匀，有利于反应进行；同时微波加热速度快、无污染，可使材料自身整体同时升温，样品晶粒细化，结构均匀，成品率高。