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湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液及其制备方法
编号:S000026476 刷新日期: 有效日期至:2020-10-10 浏览:2196 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 四川 技术领域:能源与环保 - 水资源开发与保护
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液,由双氧水、硝酸、氢氟酸和纯净水配制而成,纯净水、双氧水、硝酸、氢氟酸的体积比为:纯净水∶双氧水∶硝酸∶氢氟酸=1∶2~3∶0.5~1.0∶0.06~0.12。所述腐蚀液的制备方法,按上述配方在常温、常压下将计量好的纯净水与双氧水混合均匀,然后加入计量好的硝酸并混合均匀,继后加入计量好的氢氟酸并混合均匀。所述腐蚀液可干净、彻底地一次性去除SiO2 和/或Pt表面的LNO薄膜或LNO复合薄膜,得到边缘清晰、侧蚀比小的刻蚀图形。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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