本发明公开了一种基于CMOS工艺实现的高精度片上时钟振荡器，包括频率电压转换电路、积分电路、压控振荡器、电流自动修条电路、温度系数可调电流源及带隙基准电路，所述频率电压转换电路、所述积分电路和所述压控振荡器依次连接形成一闭环结构；本发明利用频率电压转换电路、积分电路和压控振荡器，形成闭环回路控制的振荡器电路，从而保证了该振荡电路输出频率受整个闭环回路控制不受MOS管的工艺偏差影响。由于采用闭环回路所以振荡电路具有很好的噪声性能，而且整个环路采用了温度补偿电流源和电流自动修条电路，保证了该振荡电路具有良好的温度和工艺稳定性，同时该振荡器电路简单，时钟精度高，可替换电子系统的外部石英晶体振荡器。