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一种单晶AIN纳米锥和纳米片的制备方法
编号:S000025766 刷新日期: 有效日期至:2020-11-01 浏览:3243 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 辽宁 技术领域:信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公布了一种气相传输法制备单晶AlN纳米片和纳米锥的方法,是通过以下工艺过程实现的:将原料Al粉沉积到钼舟中,在硅基片上沉积一薄层铝粉作为生长衬底,并扣置于钼舟中铝源的上方,然后,把钼舟放进长150mm,直径20mm的小石英试管,再把试管置于水平管式炉的反应区。封闭系统后开始抽真空,当系统的真空度低于5帕时,通入氩气对反应系统进行洗气。然后通入氩气和氨气,通过改变氨气和氩气的通气方式,在900℃和850℃的反应温度下,分别得到了单晶纤锌矿结构AlN纳米片和纳米锥。本发明首次在中温区(850-900℃),未使用任何催化剂,直接反应商业铝粉和氨气,实现了AlN纳米片和纳米锥的生长。本方法具有工艺简单,重复性好,生产成本低和易于推广等特点。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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