本发明公开一种电容式MEMS加速度传感器，包括MEMS加速度芯片、信号处理芯片和基板，MEMS加速度芯片包括盖体、微机械系统和电路基片，该微机械系统由X轴加速度感应区、Y轴加速度感应区和Z轴加速度感应区组成；Y轴加速度感应区包括具有2个通孔的Y向“H”形运动片、2个Y向运动电极和2个Y向固定电极；Z轴加速度感应区包括质量条块和用于支撑质量条块中心的支撑轴；电路基片下表面通过第一绝缘胶粘层与信号处理芯片上表面部分区域粘接，电路基片和基板各自上表面分别开有若干个芯片焊接点和若干个分布基板两侧边缘区的基板焊接点，信号处理芯片上表面分别开有信号输入焊接点和信号输出焊接点。本发明MEMS加速度传感器提高了器件的可靠性且有效减少外力对芯片的应力损伤。