本发明提供一种微加热器，属于微机电系统领域，所述微加热器包括反应腔，样品微流道，所述样品微流道通往所述反应腔，还包括：至少两个弧度相同的圆弧形微流道；所述反应腔由所述至少两个弧度相同的圆弧形微流道围合而成，所述至少两个圆弧形微流道之间非直接接触，所述至少两个圆弧形微流道与所述反应腔非直接接触。与现有的在芯片基底材料上形成金属薄膜，通过金属薄膜实现加热相比，本发明实施例的微加热器，实现工艺简单、成本较低。本发明实施例可用于片上细胞培养、片上蛋白质热聚焦、片上PCR等。