本发明公开了一种紫外激光加工装置，包括紫外激光器、振镜系统、聚焦透镜，在紫外激光器和振镜X之间的光路上还设有分光片，在分光片的上方还设有同轴视觉系统，同轴光源设在加工工件的一侧；紫外激光器发出的紫外激光束水平入射到分光片上，经过分光片的透射、振镜系统的全反射、聚焦透镜的折射将紫外激光束汇聚到加工工件上；光源发出的光投射到加工工件上，加工工件依次经过聚焦透镜的折射、振镜系统的全反射后变成平行光再入射到分光片上，再经过分光片的全反射后被同轴视觉系统捕捉成像，工业控制计算机根据该成像数据调整振镜系统中的振镜X和振镜Y的偏向角度。本发明的紫外激光加工装置，加工精度高，能对加工工件进行精确打标和切割。