本发明提供了一种基于微型电子加速器和能谱测量技术的高精度直流特高压测量方法，包括将待测高压加在高真空电子加速管两端的电极上形成加速电场，并通过激光光源发出连续的光在光阴极激发出光电子，所述光电子受电场作用而加速，然后射入闪烁体探测器中产生闪烁光脉冲，将所述闪烁光脉冲经集束光纤传输到低压侧的电子学系统产生电压或电流脉冲；通过分时多道对所述电压或电流脉冲的幅度进行测量，得到符合高斯分布的能谱，所述能谱的峰值处对应的能量正比于待测高压的大小。本发明具有光学结构简单、光路控制要求较低、不易受到外界的影响、测量误差较小、温度稳定性和压力稳定性都较好、量程较大、测量精度较高的特点。