用户登录
用户注册
English
技术供应
>技术供应
>技术需求
>协作成员
>专家委员
>新闻资讯
首页
中心简介
新闻资讯
工作动态
行业资讯
特别关注
热点视频
技术供应
技术需求
协作成员
专家智库
专家咨询委员会
数字展会
成功案例
配套服务
下载中心
《中阿科技论坛》
您当前的位置:
首页
>
供应列表
> 技术详情
一种光刻机工件台系统
编号:S000025521
刷新日期:
有效日期至:
2020-11-07
浏览:
2480
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
一种光刻机工件台系统,包含机架、基台、分别运行于曝光工位和预处理工位的两个硅片台,以及测量光栅、双频激光器、三自由度外差光栅干涉仪和信号接收与处理部件。在每个硅片台四角处各安装一个三自由外差光栅干涉仪,测量光栅安装于硅片台上方的机架上。双频激光器出射的双频正交偏振激光经光纤传输至三自由度外差光栅干涉仪后至测量光栅,测量光栅的四束衍射光回射至三自由度外差干涉仪,最终出射四束测量光信号至信号接收与处理部件。当硅片台相对于测量光栅运动时,利用信号接收与处理部件中的读数通过解算获取硅片台六自由位移。该光刻机工件台系统可提高硅片台的测量精度、动态性能等指标,进而提高光刻机工件台系统整体性能。
分享到:
申请对接
收藏此供应
推荐给好友
穿越到手机
联系方式
在线QQ:
机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
查看地图
China-Arab States Technology Transfer Center
认证方式:
相似供应
一种片上系统的验证方法、装置和系统
所在区域:中国
转让类型:
合作研发
一种运动控制片上系统
所在区域:中国
转让类型:
技术转让
一种大规模微系统芯片的片上多节点系统的自测试方法
所在区域:中国
转让类型:
科技服务
一种基于片上系统技术的光纤通道网络数据监控系统及方法
所在区域:中国
转让类型:
合作研发