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一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法
编号:S000025339 刷新日期: 有效日期至:2020-12-18 浏览:2282 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法,该双波长分布反馈集成激光器用于探测CO与CH4的浓度,该方法包括:在掺杂磷化铟衬底上制作长条形介质掩膜图形;在掺杂磷化铟衬底上外延生长有源增益区和复合光栅层,在该复合光栅层上制作光栅;在该光栅上外延生长掺杂磷化铟盖层和重掺杂欧姆接触层,并制作串行条形波导结构或并行条形波导耦合结构;其余按标准激光器管芯工艺和光纤耦合工艺完成后续制作,得到双波长分布反馈集成激光器。利用本发明提供的方法制作的双波长分布反馈集成激光器,结合目前通用的宽谱红外探测器及电路处理技术,能够将CO和CH4两种气体浓度的检测合并于同一仪器内,实现对CO与CH4两种气体浓度的快速检测和预警。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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