一种扫描探针显微镜进针装置，其步进电机（8）以垂直于水平面方向固定在扫描探针显微镜进针装置的底座，步进电机（8）连接压电陶瓷扫描器（7）；压电陶瓷扫描器（7）上设置样品台（11）；探针（2）针尖朝下，位于样品台（11）的正上方；探针（2）的上方安装有激光光源（9）；光电传感器（10）位于探针的斜上方，接收探针（2）所反射的光斑的位置信号，并将光斑位置信号转换为电压信号送入控制器（4），通过控制器（4）控制步进电机（8）带动样品向探针（2）逼近。本发明还包括双通道反射式光纤位移传感器，通过双通道反射式光纤位移传感器检测探针与样品表面距离，在控制器的控制下，提高粗进针速度，结合细进针控制，实现快速进针。