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全息变间距光栅曝光光路的装调装置
编号:S000025261
刷新日期:
有效日期至:
2020-09-26
浏览:
2278
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 吉林
技术领域:
信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
全息变间距光栅曝光光路的装调装置,属于光谱技术领域,为解决现在全息变间距光栅曝光系统装调过程中,测量难度大、精度低的问题,包括检测光源与光栅基底夹持检测平台;所述检测光源用于提供两支相干平行光;由激光器、入射光纤准直镜、Y型单模光纤、第一出射光纤准直镜和第二出射光纤准直镜组成,激光器产生的激光,通过入射光纤准直镜会聚进入Y型单模光纤,激光从Y型单模光纤出射后经第一出射光纤准直镜与第二光纤准直镜后成平行光;所述基底夹持检测平台用于产生参考光,并记录待测光与参考光的干涉条纹,由底座、角度盘、定位槽、微调滑块、摆臂、管夹、扩束镜、半透半反镜和CCD相机、立柱、一维调整卡具和自动定心镜架组成。
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认证方式:
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