本发明涉及一种无机纳米材料及其制备方法，特别涉及一种CaF₂掺杂的纳米ZnO及其制备。将可溶性钙盐与可溶性锌盐溶于适量水中，加入碱性沉淀剂，混合均匀后滴加可溶性氟盐溶液，将反应得到的沉淀物离心、水洗、烘干，再经煅烧，得到一种CaF₂掺杂的纳米ZnO，其CaF₂与ZnO的摩尔比为0.01～2:100。本发明通过掺杂对晶体缺陷设计，由于CaF₂的掺杂影响了纳米ZnO的缺陷浓度，增加了氧空位浓度，在不降低其抗菌性能的前提下，有效抑制了其光催化性能。将制备的CaF₂掺杂的纳米ZnO应用于功能纺织品、涂料等领域，在不降低其抗菌性能的基础上，克服了由于光催化性能显著而使产品寿命减少，色牢度降低等缺点。